MEMS este abrevierea de la micro-motor system. Dimensiunea individuală de miniaturizare a produsului finit este la nivel de milimetri sau chiar microni. Este utilizat pe scară largă în comunicațiile 5G, monitorizarea securității, automatizarea industrială, electronica auto și alte domenii. În această etapă, se poate spune că aproape toate produsele electronice sunt aplicate MEMS.
Avantajele dispozitivului MEMS: dimensiune mică, greutate redusă, integrare ușoară, consum redus de energie, sensibilitate ridicată și multe alte avantaje. Și poate fi produs în masă. Deși poate fi produs în masă, ambalajul MEMS nu este universal. În funcție de diferitele tipuri funcționale de componente MEMS, structura componentelor și metodele de ambalare sunt diferite, iar tipul dedicat este mai mare.
Tehnologia de asamblare la nivel de cip este utilizată în mod obișnuit în această etapă. Desigur, există cerințe destul de stricte privind precizia asamblarii, mediul de operare și metodele de aliniere.
Dificultăți ale asamblarii la nivel de cip MEMS
1. Standard ridicat de precizie de ambalare
Software-ul sistemului MEMS include o interfață unică de semnal de date, carcasă, perete interior și alte structuri, care cresc dificultatea controlului poziției și unghiului în timpul alegerii și plasării în timpul întregului proces de legare a componentelor MEMS și a substraturilor multifuncționale.
2. Materialul este fragil și ușor de spart
Dispozitivele MEMS, cum ar fi micro-accelerometrele, micromotoarele etc., au în general structuri mecanice, cum ar fi cavități sau cantilever încorporate. Aceste structuri sunt de dimensiuni mici și au o rezistență mecanică mult mai mică decât cipurile IC. Sunt foarte vulnerabili la contactul fizic în timpul asamblării și a altor procese.
Multe părți ale dispozitivului MEMS nu sunt doar de dimensiuni mici, ci și fragile și fragile, cum ar fi canelurile și sectoarele adânci, astfel încât presiunea de lucru aplicată în timpul lipirii este foarte importantă. Dacă presiunea de lucru este prea mică, conexiunea nu va fi apropiată; dacă presiunea de lucru este prea mare, componentele vor fi deteriorate.
Se poate observa că nivelurile precise de acuratețe și amplitudinile de legătură sunt condiții necesare pentru îmbunătățirea ratei de trecere a instalării transceiverului de radiofrecvență MEMS.
Când grosimea dispozitivului MEMS este între 50-150μm, presiunea de lucru selectată pentru lipirea firului este între 50-100g, iar deplasarea de rotație ar trebui să fie mai mică de 0,3°, astfel încât deteriorarea componentelor să poată fi redusă într-o mare măsură. , iar conformitatea poate fi îmbunătățită. Rată.
Aliniere de înaltă precizie, tip patch, pentru a asigura rata de trecere
Feedback la nivel de microni pentru a obține informații precise despre date, precizie de control al forței de ± 0,01 N, nivel de precizie de repetabilitate liniară de ± 2 μm, nivel de precizie de repetabilitate de ± 0,01 ° rotație, deviație radială mai mică de 10 μm, specificația de rezoluție a codificatorului 1 μm, disponibilă în ieșire stabilă chiar și în condiții ridicate. -viteza de functionare, imbunatatirea ratei de calificare si a stabilitatii.
Aspirație în vid, presiune de lucru controlabilă, reduce consumul
Motorul rotativ liniar Guoao adoptă un design gol al axei Z, priză traheală rezervată, aspirație cu vid, plug and play și poate oferi servicii personalizate bazate pe structura și caracteristicile componentelor;
Conține un"aterizare soft" funcție, care poate finaliza un control stabil al forței în ± 1,5 g și poate personaliza parametri precum viteza, accelerația și controlul forței, astfel încât capul de plasare să poată atinge componentele MEMS cu o presiune de lucru foarte precisă, reducând epuizarea.
& quot;Z+R" design integrat cu axe pentru a crește viteza
Soluția inovatoare integrată cu două axe combină tradiționalul"servomotor + șurub cu bile" într-unul singur, care poate face față problemei de încărcare a greutății proprii a axei Z și complet component Pick&lificator; Plasare, plasare și alte acțiuni la viteză și precizie mare. Împingere Curba este netedă, tracțiunea maximă este de 8-50N, cursa efectivă este de 10-50 mm, iar ciclul de viață ultra-înalt permite o producție eficientă.
